N-Slot 感應式耦合電漿源平面顯示器蝕刻製程開發 - 大同大學

本文內容在探討平面顯示器中高密度電漿源的蝕刻製程開發，其中深層的矽氧. 化層蝕刻以及多晶矽島尺寸 ...

ethesys.lib.ttu.edu.tw