MFC (Mass Flow Controller)的原理- Yahoo!奇摩知識+

質流控制器（Mass Flow Con-troller)一般簡稱MFC。它是一種流量計與控制閥組的精密機電組合，與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量 ...

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