MEMS製程日新月異 感應器巧扮創新火車頭 - 技術前瞻 - 新通訊元件雜誌

目前最流行的加速度感應器，其運作原理為感應出加速度方向的XYZ三軸成分，從而得出物體在三度空間中的運動向量，若應用需求較為單純，市面上亦有許多兩軸的方案可供選擇。圖2為ADXL202兩軸加速度感應器，晶片中心的部分是多結晶矽，梳子櫛構造的 ...

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