MA300 Gen2 - Overview - SUSS MicroTec

... 曝光的幾何範圍為5到100微米的技術上。MA300代表了SUSS所生產的新一世代 光罩對準曝光機，其設計時即是要滿足具有大量量產製造環境的高階晶圓廠的需求。

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