Lab Session 1 - 國立交通大學資訊技術服務中心

Lab Ses.Object of the experiment sion 2 Ⅰ 1. 了解何謂黃光微影製程，並熟悉每個步驟的目的與原理。 2. 學習將經過微影後之晶片利用濕式蝕刻方式蝕刻濕式氧化層。 3. 學習利用爐管擴散的方式，將P型基板之晶片摻雜POCl3以形成n+區域。

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