LED藍寶石基板與晶片背部減薄制程 - LEDinside

目前在LED制程中，藍寶石基板雖然受到來自Si與GaN基板的挑戰，但是考慮到成本與良率，藍寶石在近兩年內仍然具有優勢，可以預見接下來藍寶石基板的發展方向是大尺寸與圖案化（PSS）。由於藍寶石硬度僅次於鑽石，因此對它進行減薄與表面平坦化加工 ...

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