LED晶圓(外延)的成長製程 - LEDinside

今天來探討LED晶圓的成長製程，早期在小積體電路時代，每一個6吋的晶圓上製作數以千計的晶粒，現在次微米線寬的大型VLSI，每一個8吋的晶圓上也只能完成一兩百個大型晶片。晶圓的製造雖動輒投資數百億，但卻是所有電子工業的基礎。矽晶柱的長成 ...

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