利用有機金屬氣相反應,進行磊晶製程之技術. 磊晶片PL 光譜量測. 晶片製程(Wafer Process). 藉由蒸鍍,蝕刻與黃光微影等作業,將晶粒(chip). 之圖案製作於磊晶片表面, ...
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