43 Copyright 2009 ITRI 工業技術研究院 Beam Uniformity † 所有的百分比為±5% 最高峒強度位峹55 - 65 區區區區(垂直), 符峯下峚需求: 0 - 25 區佔最高峒強度的區佔最高峒強度的10% - 35% † 25 - 45 區佔最高峒強度的區佔最高峒強度的35% - 60%
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