ITO導電玻璃及相關透 明導電膜之原理及應用

ITO薄膜 導電 性要好的 (面電阻低) ，膜厚要增 ，大 因此薄膜 穿透度會降低的 1. ITO ... 用 RF+DC sputtering 製程 來降低放電電壓 電壓低→ 粒子撞擊基板 量低能 → 結晶性佳→ 電阻比 ...

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