ITO 薄膜之蝕刻速率與表面粗糙度於不同蝕刻液及溫度下之探討

當進行ITO薄膜蝕刻時乃以光阻層作為ITO薄膜的蝕刻罩幕來蝕刻出所需圖案，因此理想上我們需要找出可. 以快速蝕刻ITO ... 化物(Indium Tin Oxide, ITO)薄膜玻璃作為製程基板，. 將部份ITO ...

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