IC 製程簡介

a. 擴散→ oxidation, doping b. 薄膜→ CVD, PVD c. 微影 d. 蝕刻→ dry, wet etching e. 化學機械研磨CMP. 2. 製程整合簡介: - CMOS process flow簡介. 3. 製程規格 ...

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