GaN 材料 sccm -> mol/hr ?? - Yahoo!奇摩知識+

sccm 是氣體的一種流量單位. 1sccm代表在標準狀態(溫度 273K,壓力 760 torr)下,每分鐘有 1cm^3 的氣體流量. 問題(1). TMGa 的1sccm 等於多少 mol/hr? 因為 1sccm = 1cm^3/min = 60cm^3/hr,在溫度 273K,壓力 760 torr 利用理想氣體公式, PV= nRT

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