Eddy Current Principle - 德技科技股份有限公司-靜電測量,霍爾效應分析儀(Hall Effect Measurement System,四點探針量測(

< 非接觸表面電阻測量的機理 > 高頻電流 I （圖 1） 如上圖所示, 幾兆赫茲的高頻電流在兩個相距幾毫米的感測器(鐵素體核馬口鐵)中導通。 當晶圓片插入到兩感測器之間,渦電流就通過高頻電感耦合在圓晶片中?生。

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