DRAM、NAND Flash廠製程轉換 - DIGITIMES

2010年DRAM廠製程轉換從50奈米和40奈米世代技術，NAND Flash廠也轉換至30奈米和20奈米世代，同樣都需要浸潤式微顯影(Immersion Scanner)機器設備，同時晶圓代工也同樣需要此款機器設備，造成浸潤式微顯影機台有交貨不及的狀況產生

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