Cleanroom Classification Standards

3-7 空氣的潔淨度（cleanliness）區分等級 z聯邦標準209（A至D）之定義是每立方英呎 的空氣中所含有≧0.5μm的微塵粒子數。z聯邦標準209（E版本）用公制的命名法。zISO 14644-1標準很快地被各國採用。z依照ISO 14644-1標準作為無塵室分類之規

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