Chapter 9 蝕刻

負載效應:巨觀. • 具較大開口面積的晶圓和具較小開口面. 積的晶圓，其晶圓對晶圓的蝕刻速率是. 不同的. • 主要影響批量蝕刻製程. • 對單晶圓製程影響不大 ...

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