Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University

電漿的基礎原理 2 目標 • 列出至少三種用到電漿的半導體製程 • 列出電漿中的主要三種碰撞 ... 電漿蝕刻 反應室 • 重度離子轟擊產生大量的熱量 • 需控制溫度以保護光阻遮蔽層 ...

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