Chapter 6 測漏技術與清潔方法.ppt [相容模式]

漏氣率測定法-動態測漏法(B) 包覆罩內充測試氣體（氦氣），待測真空系統由真空幫浦 抽氣，而測漏儀裝設在抽氣管路上 在未達到壓力平衡前，待測真空系統的壓力變化率為 dp/dt，包覆罩內的氦氣漏入待測真空系統的漏氣率為Qt，

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