靜子中轉動而抽. 氣. 10. 渦卷式乾式幫浦抽氣原理. 11. 第三節高真空到超高真空抽 氣用的幫浦. 真空系統的真空度達高真空範圍後氣體的分子密度相對減. 真空 ...
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