Chapter 3 產生真空的辦法 第一節第一節真空幫浦真空幫浦

擴散幫浦 diffusion pump 為利用氣體擴散的原理的幫浦 當真空系統中的壓力達可起動擴散幫浦的壓力時，此時氣 流形態己進入分子流範圍，故每一個氣體分子均獨立作任 意運動（random motion） 幫浦液（pumping fluid） 在起動幫浦時被加熱成蒸氣經

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