Chapter 2 積體電路生產的簡介

無塵室等級. •Class 10 ：定義為每立方英呎中直徑大於0.5. 微米的微粒數量少於10顆. •Class 1：定義為每立方英呎中直徑大於0.5. 微米的微粒數量少於1顆. •0.18 μm ...

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