Ch 6: Lithography - 臺灣大學計算機及資訊網路中心C&INC, NTU

6 11 光阻旋轉塗佈 轉軸 至真空幫浦 光阻輸配噴嘴 吸盤 光阻回收 晶圓 Rotation speed vs. thickness: Special considerations: 12 烘烤系統 加熱器 真空 晶圓 加熱器 熱氮氣 2 晶圓 微波源 真空 晶圓 光阻 吸盤 加熱平板 對流烤箱 微波爐

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