CVD 製程原理與應用 (捷胤工業).ppt [相容模式]

Plasma 原理 •What is plasma? 電漿： 由離子、電子、分子及原子團所組成的部份接近中性化之 離子化氣體 電漿分類： DC plasma‐‐電極為導體，運用在PVD 當壓力很小於1大氣壓時，由於離子與二次電子的交互碰撞

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