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CVD 製程原理與應用 (捷胤工業).ppt [相容模式]薄膜沉積原理(1) 晶粒成核形式： a.均勻成核(Homogeneous Nucleation)： 長晶的過程一般非在substrate 表面發生，晶粒成球狀 ... Microsoft PowerPoint - CVD 製程原理與應用 (捷胤工業).ppt [相容模式] Author user Created Date 12/25/2008 1:54:15 PM ... ri.search.yahoo.com |
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