CTimes - 異軍突起的MEMS運動感測器: - MEMS,微機電,STM,SFD ...

何謂MEMS？它是一項結合電子與機械的微小化工程技術，也就是應用半導體製程 技術來製作各種微小的精密機械元件，而且能進一步與今日的光電系統整合，以提供  ...

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