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CTimes - 剖析電容式MEMS麥克風技術設計: - MEMS,微機電 ...
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CTimes - 剖析電容式MEMS麥克風技術設計: - MEMS,微機電 ...
電容式麥克風 電容式麥克風(如圖二所示)由一個導電的薄板與多孔的背板(back plate)形成電容結構,薄板受聲壓作用而變形造成電容值改變,前級的讀取電路 ...
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