CTIMES- 台灣CMOS MEMS技術發展與現況 :MEMS,微機電,Motion Senosor,CMOS MEMS,G-Sensor,Gyrometer,E-Compass,Epson Toy

《圖一 至90年代起，MEMS走向結合感測器(sensor)、致動器(actuator)、控制系統(control function)，且利用共同半導體製程，整合電晶體及機械微結構來製作完整的晶片。》 資料 ...

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