CMOS/MEMS整合有譜 CE應用商機起 - 懂市場 - 新電子科技雜誌

利用MEMS技術所開發出的加速度計、陀螺儀、麥克風及振盪器等元件，已廣獲消費性電子業者的青睞，而為進一步提高市場導入速度，以CMOS MEMS製程整合的單晶片技術，扮演著舉足輕重的角色。 微機電系統(MEMS)元件應用熱潮持續

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