CMOS-MEMS 製程技術與電腦輔助微機電系統設計的 ... - 國立臺灣大學

其採用既有的標準化半導體製程(CMOS process). 可將微電子電路以及微機電微細 結構以相同的設計. 介面整合在一個晶片 ...

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