CMOS MEMS 製程平台於微感測器之應用 - 微感測器與致動器產學聯盟

流程，並如何利用CMOS MEMS 製程平台製造與整合。 方維倫、 .... 感測原理相同， 且單一組彈簧與感測電極僅可作單.

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