CMOS MEMS 微型加速度計 - 微感測器與致動器產學聯盟

2P4M 標準製程來製作CMOS 晶片，然後搭配筆者建立的新型態雙面CMOS .... 首先 ，簡單的說明加速度計的感測原理。本文.

www.usat.org.tw