CH13

第13 章 新興製造技術 13-5 13 4. 微影的步驟為何？ (1)完成圖案設計；(2)光阻塗佈；(3)烘烤；(4)圖案轉移；(5)烘乾；(6)去除光阻。綜合上述分成三個步驟如下： 5. 何謂微影？何謂蝕刻？ 微影：微影是將元件的幾何圖案，經光罩(Mask)傳遞到矽晶片基板 ...

our.hlvs.ylc.edu.tw