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"曹芳海、鄭名山、陳來富、周雅文、李延青 / 工研院能資所 前言 風機 — 濾網機組(Fan-Filter Unit, FFU)是一種結合送風機與高效濾網(HEPA / ULPA)的氣流循環與過濾設備(見圖一),目前大量的使用於各類無塵室中,做為無塵室二次側循環過濾系統的主要設備 ...

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