600公斤多晶矽長晶功率與製程參數之關係__臺灣博碩士論文 ...

2012年7月16日 ... 研究所得模擬結果期望提供未來多晶矽(mc-Si)方向性凝固之長晶爐的製程參數參考 ，並為改進其熱場區域 ...

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