5D24_半導體製程設備 - 五南文化事業機構首頁

投影片((外加)) 半導體元件由矽土製成矽晶圓， 再經數百個製程步驟，才製作出256M級的DRAM 。這期間所使用的機器，主要的也不過十數種。晶圓成長爐、磊晶反應器、步進照像儀、化學氣相沉積爐、氧化和擴散高溫爐、離子植入機、乾蝕刻機、電子束蒸鍍 ...

ri.search.yahoo.com