5.6 微影技術 (Lithography) II - 中州科技大學Chung Chou University of Science and Technology

微影技術II－蝕刻 微影技術的後半部，將光罩底膜的光阻進行蝕刻，以及進行灰化製程將不要的光阻去除。 微影技術II包含對光罩下的光阻進行蝕刻和光阻去除。雖然也有不使用光罩，進行全面蝕刻的方式，但不包括在微影技術的範圍內。

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