5.2 熱處理技術 - 中州科技大學Chung Chou University of Science and Technology

熱處理製程 半導體元件製造可說是熱處理的反覆進行。 在熱擴散為主流的時期，也曾以1200 的高溫進行處理。目前熱處理的最高溫度約為900 ，且落實地朝低溫化進展。 於爐管內加熱形成氧化膜，為半導體元件的核心，如果沒有這項技術的話，就 ...

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