5. 掃描式電子顯微鏡(SEM) 檢測實作觀摩 - 國立高雄第一科技大學

掃描式電子顯微鏡(scanning electron microscope，SEM)之電子束和試片的碰. 撞作用可分 ... 等待熱機完成(真空控制操作面板上黃燈熄滅)及抽至高真空後即可操作.

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