4-1微機電系統(Micro Electro Mechanical Systems)

4-1微機電系統(Micro Electro Mechanical Systems) 詳細內容 發佈於：2012-08-04, 週六 21:35 微機電系統簡介 利用黃光微影、摻雜技術、蝕刻技術、薄膜成長等半導體的製程技術，製作微小的機械元件、光學元件與電子元件，並且將所有元件整合成單一的系統製作 ...

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