365nm紫外光發光二極體應用於n型氮化鎵光電化學濕蝕刻__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

3.2 濕蝕刻原理.....11 3.2.1 光電化學濕蝕刻法對於光源的限制.....11 3.2.2 未偏壓下，光電化學濕蝕刻無法蝕刻p 型氮化鎵...13 3.2.3 擴散或反應限制蝕刻機制.....18 3.2.4 水合作用.....18 3.2.5 濕蝕刻與晶格缺陷.....20 3.2.6 濕蝕刻速率與金屬光 ...

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