33---2 X2 X 光微區分析 EDS) - 台灣大學化學系

4 33---2 X2 X光微區分析(EDS) 1.. 引言 X 光微區分析( X- ray microanalysis) 包括試片 微小體積內X光的激發，可藉由激 發的X光之收集、分析而決定試片 某㆒部份 的組成。X光微區分析裝置有兩種，㆒種為波 長散佈光譜儀( wavelength dispersive

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