2-3-4 電漿原理

輝光放電為濺鍍最基本的方法，其氣體壓力約在103~l0 pa的真空腔體內，於二電極間間加以(1)高電壓(2)低週波的交流高電壓(3) ... 2-3-4 電漿原理 Author ui Last modified by ui Created Date 6/6/2012 8:15:00 AM Company ui ...

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