101華梵大學機電工程學系專題研究成果報告

息相關的，在我們對於 旋轉塗佈 機的轉速和 時間進行微調時發現；光阻 塗佈的厚度與轉 速和時間都是成反比，只是在於厚度下降的 ... 時發現到了 ...

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