101華梵大學機電工程學系專題研究成果報告

息相關的，在我們對於旋轉塗佈 機的轉速和 時間進行微調時發現；光阻塗佈的厚度與轉 速和時間都是成反比，只是在於厚度下降的 ... 時發現到了初轉20s/2000rpm\ 二轉 30s/3000rpm時，光阻的厚度、均勻度、表 面透度都達到了一定的程度，之後開始烘 ...

me.hfu.edu.tw