1-台積電六廠講義.ppt - 節約能源園區

潔淨室採mini-environment 節能設計 5. .... 採用mini-environment 的設計，僅提供局部高潔淨度的環境，到達 Class 1等級，即可滿足製程需求，可大幅降低潔淨室之 ...

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