1.列出電漿的三種成份。 答:電漿是由離子、電子、中性分子(原子)組成 ...

傳統的PECVD反應室中的游離化速率是多少？ 答:百萬分之一到千萬分之一. 3.列出 電漿中三種重要的碰撞並說明其重要性。

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