下一世代氣體流量器-Gas Flow Controller的需求 氣體流量控制器(mass flow controller,MFC)自1968年問世以來,即普遍被應用在氣體製程流量控制用途;近年來,半導體製程技術不斷提昇,線寬不斷縮小,因此供應商積極開發新的氣體,以因應新的製程需求。
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