著再以Shih 及Tsuei [8]的方式進行修改結構。 馬達內藏式高速主軸 在精密加工與高速切削 上的應用正不斷成長中,其應用產業包括精密模具 加工、硬脆材料加工、PCB 成型與鑽孔加工、精 密光學鏡片加工、半導體業之晶圓加工、雕刻加 ...
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