高解析掃描穿透式電子顯微鏡在後段金屬連線的應用 - 國家奈 ...

18. 第. 九. 卷. 第. 四. 期. 奈. 米. 通. 訊. 摘要. 本文利用結合高解析能損儀之掃描穿透. 式電子顯微鏡，進行奈米元件後段製程上的. 分析。經研究發現利用高能量分辨率 ...

www.ndl.narl.org.tw